Author Affiliations +
Alexander M. Baranov,1 Reiner Dietsch,2 Thomas Holz,2 Maik Menzel,2 Danny Weissbach,2 Roland Scholz,3 Valeri Melov,4 Juergen Schreiber4
1Research Institute of Vacuum Technique (Russia)
2Fraunhofer-Institut fuer Werkstoff- und Strahltechnik (Germany)
3Max-Planck-Institut fuer Mikrostrukturphysik (Germany)
4Fraunhofer-Institut fuer Zerstoerungsfreie Pruefverfahren (Germany)