Author Affiliations +
G. F. Lorusso,1 P. Leray,1 T. Vandeweyer,1 M. Ercken,1 C. Delvaux,1 I. Pollentier,1 S. Cheng,1 N. Collaert,1 R. Rooyackers,1 B. Degroote,1 M. Jurczak,1 S. Biesemans,1 O. Richard,1 H. Bender,1 A. Azordegan,2 J. McCormack,2 S. Shirke,3 J. Prochazka,3 T. Long3
1IMEC (Belgium)
2KLA-Tencor (United States)
3VLSI Standards (United States)