Author Affiliations +
Tsung-Chih Chien,1 C. Y. Shih,1 R. C. Peng,1 H. H. Liu,1 Y. C. Chen,1 H. J. Lee,1 John Lin,1 K. W. Chang,1 C. M. Wu,1 W. H. Hung,1 Tommy Lee,1 H. C. Wu,1 X. Xie,2 W. J. Shao,2 C. H. Chang,2 R. Aldana,2 Y. Cao,2 R. J. G. Goossens,2 Simon Hsieh3
1Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. (Taiwan)
2Brion Technologies (United States)
3ASML Taiwan Ltd. (Taiwan)