Author Affiliations +
Steffen Kurth,1 Karla Hiller,2 Marco Meinig,1 Jan Besser,1 Mario Seifert,3 Martin Ebermann,3 Norbert Neumann,3 Florian Schlachter,4 Thomas Gessner1
1Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (Germany)
2Technische Univ. Chemnitz (Germany)
3InfraTec GmbH (Germany)
4AMO GmbH (Germany)