Author Affiliations +
Christoph Hohle,1 Kang-Hoon Choi,1 Manuela Gutsch,1 Norbert Hanisch,1 Robert Seidel,2 Katja Steidel,1 Xaver Thrun,1 Thomas Werner2
1Fraunhofer-Ctr. Nanoelektronische Technologien (Germany)
2GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One LLC & Co. KG (Germany)